日本產業技術綜合研究所(產綜研)近日宣布,通過把納米壓印與絲網印刷融合到一起,開發出了能夠利用與過去一樣的印刷原版,使線條粗細縮小到原版圖案1/30以下的超微細印刷技術。
該技術首先通過納米壓印成型,在薄膜表面形成從納米到微米不等的凹凸結構。在擁有凹凸結構的薄膜上進行絲網印刷后,借助毛細管作用,可以在凹凸的微小間隙中填充功能性墨水。因為不需要像過去的技術那樣對原版圖案的開口部進行微細化,所以不會發生墨水堵塞的問題,有助于提高量產效率。
使用過去的印刷技術(原版開口寬度為200μm)制作的導電膜的光(波長550納米)透射率為43%。而使用此次新開發的技術,可印刷線寬為3μm的超微細布線,導電膜的透射率達到了90%。在印刷之前,薄膜本身的透射率為91%,布線對于透射率的影響微乎其微。
另外,使用過去的印刷技術時,如果微細化程度增加,布線的高度會降低,導致薄膜電阻增大。而此次開發的新技術將墨水封閉在了凹凸結構的微小縫隙內,即使布線微細化,也可以維持原來的高度,從而抑制薄膜電阻增大。
這項技術可以用來印刷高密度的微細布線,理論上可以印刷0.1μm以下的微細圖案。通過結合薄膜嵌入成型技術,還可以在曲面印刷圖案。而且有望通過非常微細的印刷圖案提高墨水的顯色性能等。(來源:日經技術在線 撰稿:工藤宗介)