光刻工藝是利用一類感光性樹脂材料作為抗蝕涂層。這類感光樹脂材料在光照(主要是紫外光)時，短時間內(nèi)即能發(fā)生光化學(xué)反應(yīng)，使得這類材料的溶解性、熔融性或親和性在曝光后發(fā)生明顯的變化，利用這些性能在曝光前后發(fā)生的明顯差別，只要控制光照的區(qū)域就可得到所需幾何圖形的保護層。
這種作為抗蝕劑涂層用的感光樹脂材料稱為光刻膠黏劑或光致抗蝕劑。
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